为了保证微小孔加工具有良好的尺寸精度、圆度及平直度，重要的前提条件是必须使用进给精度高、稳定性好的机床；尤其应注意的是，大力抑制主轴、夹具、刀具的综合误差。适用于小直径孔加工的机床之一，是Louis Levin & Son公司开发的卧式微型钻床，这是一种带底座的小型车床，配有专用的钻削附属装置，可进行高精度小直径孔加工。该装置带有可进行水平方向、垂直方向调整的导轨，便于与主实现同轴。主轴与钻头轴的调直使用专用仪表，可让两轴在低速回转时进行调整，与一般只由钻头回转的加工方法相比，采用主轴与钻头轴同时回转的方式，可获得更高的同轴度。 微型钻头的柄部形状大致有两种，一种是细小直柄，另一种是粗杆直柄。刀具材料仍然以钴高速钢为主。近年来，涂层钻头和硬质合金钻头已大量出现，尤其是细晶粒硬质合金，其耐磨性和韧性均有很大提高，目前已开发出粒径为0.5μm以下的WC超细晶粒硬质合金，如佳友电工公司开发的AFI细晶粒硬质合金，其抗弯强度达500kg/mm2，硬度92.5HRA，用其制作微型钻头，切削性能十分理想。 进行钻孔作业之前，应使用显微镜等对备用钻头进行仔细检查，如果使用研磨精度不高的钻头，不仅会降低加工孔的精度，严重时还会造成钻头折断。 在钻头尺寸精度方面，如果是加工不锈钢或铁镍钴合金等材料，要求其切削刃高度误差为0.001～0.02mm左右，这可防止刃带磨损，延长工具寿命。
