影响设备安装精度的因素有：
（1）基础的施工质量（精度）；包括基础的外形几何尺寸、位置、不同平面的标高、上平面的平整度和与水平面的平行度偏差；基础的强度、刚度、沉降量、倾斜度及抗震性能等。
（2）垫铁、地脚螺栓的安装质量（精度）：包括垫铁本身的质量、垫铁的接触质量、地脚螺栓与水平面的垂直度、二次灌浆质量、垫铁的压紧程度及地脚螺栓的紧固力矩等。
（3）设备测量基准的选择，直接关系到整台设备安装找正找平的最后质量。安装时测量基准通常选在设备底座、机身、壳体、机座、床身、台板、基础板等的加工面上。
（4）散装设备的装配精度：包括各运动部件之间的相对运动精度，配合表面之间的配合精度和接触质量，这些装配精度将直接影响设备的运行质量。
（5）测量装置的精度必须与被测量装置的精度要求相适应，否则达不到质量要求。
（6）设备内应力的影响：设备在制造和安装过程中所产生的内应力将使设备产生变形而影响设备的安装精度。因此，在设备制造和安装过程中应采取防止设备产生内应力的技术措施。
（7）温度的变化对设备基础和设备本身的影响很大（包括基础、设备和测量装置），尤其是大型、精密设备。
（8）操作者的技术水平及操作产生的误差：操作误差是不可避免的，问题的关键是将操作误差控制在允许的范围内。这里有操作者技术水平和责任心两个问题。
